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硅片硅料清洗机系列
案例名称:
全自动硅料清洗设备
案例介绍:
◎适用于多种不同比重的酸、碱化学品药液的输送。
◎设计有门未关闭自动报警功能,保证作业时的安全。
◎漏液检测报警功能随时检测是否泄漏,保证设备安全运行。
◎隔离式操作,作业员可于设备外部进行操作,大大减少与化学品的接触。
◎系统可在两个桶间自动切换,减少作业员操作,降低人为操作风险。
◎气动泵升级,减少了耗材消耗,同时降低了设备的故障率。
全自动硅料清洗设备
全自动超声波硅片清洗设备